东方晶源的8英寸关键尺寸的量测装备现正式交付给客户

近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)交付燕东微电子，标志着该公司去年6月首台12英寸CD-SEM出机后，在电子束量测领域再次取得重要进展。

据介绍，该型设备(SEpA-c300)基于东方晶源12英寸CD-SEM的技术积累，面向90nm以上技术节点成熟工艺，旨在破解8英寸晶圆代工厂该类设备短缺、二手设备性能指标及设备稳定性差等问题。

图片来源：东方晶源微信号

公开信息显示，东方晶源是国内电子束检测、量测设备领先厂商，曾承担国家02重大专项—电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过;首台套电子束缺陷检测设备(EBI)已完成产线验证并获得重复订单。东方晶源在电子束检测、量测领域已填补多项国内空白。目前该公司已经和国内大部分主要晶圆代工企业建立了合作关系。