离子注入机新闻
近日，由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机(POWER-750H)成功出束，核心指标达到国际先进水平。这标志着我国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链关键环节，为推动高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造四大核心装备，是半导体制造不可或缺的刚需设备。此次高能氢离子注入机的成功研制，是核技...
2026-01-17
俄罗斯以 G.I. Budker SB RAS 命名的核物理研究所发表文章成功创建了尖点离子源的原型，即具有尖状磁场结构
2024-12-26
2012年底，研发团队成功研制出28纳米中束流离子注入机，陈辉带着设备进驻用户单位。按规定，要在两年内完成产线工艺验证。实际上，除去大规模量产前的稳定性验证和试投产，真正留给工艺验证的时间只有一年左右。
2024-03-19
